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三好 正毅
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三好 正毅 の特色のある研究分野
t-74: 効果 反応 触媒 表面 添加 付着 に関する分野
t-60: 結晶 形成 接着 成長 結晶化 接着性 に関する分野
t-52: 構造 建築構造 建築 解析 性能 塑性 に関する分野
t-44: 回路 雑音 電流 電源 電圧 構成 に関する分野
t-74: 「効果 反応 触媒 表面 添加 付着 」の分野に関する特色
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電極
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電圧
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極薄誘電体膜トンネル現象のMOSトランジスタへの応用
極薄誘電体膜トンネル現象のMOSトランジスタへの応用
極薄酸化・窒化・酸化複合膜の低電圧領域における電気伝導機構のWKB近似による理論的解析
多結晶Si薄膜の結晶欠陥と結晶粒径の関係
28a-M-11 極薄酸化膜の低電圧領域における直接トンネル電流の理論検討
28p-C-3 凹凸をもつ多結晶Siに形成された極薄酸化・窒化・酸化複合膜の電気伝導に関する理論的考察
t-60: 「結晶 形成 接着 成長 結晶化 接着性 」の分野に関する特色
特色キーワード
レーザ
アニール
エキシマ
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28p-K-1 エキシマ・レーザ・アニールにより成長した低温多結晶Si(IV) : 2次元結晶成長過程
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